回折収差とは？ わかりやすく解説

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回折収差　diffraction aberration

電子の回折現象に起因する収差。レンズに入射する電子線の角度を制限したときに大きくなる。電子線の波長を λ、レンズの開き角を αとすると、回折収差によるボケの半径 rはr=0.6λ/sinαとなる。SEMは加速電圧が低いため波長が長いので、影響が大きい。
回折収差

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