サブリメーションポンプとは？ わかりやすく解説

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サブリメーションポンプ

【英】：sublimation pump

高真空中でチタンを加熱、昇華させ、新鮮なチタンの蒸着膜を壁面に作り、チタンのゲッタ作用(気体分子を化学的に吸着する作用)により排気をおこなうポンプ。高真空領域で効果が著しい。使用圧力は10-5Pa以下。は加熱するので、常時使用するのは高真空保持のためには好ましくない。そこでイオンポンプとセットになっていることが多く、イオンポンプを常時作動させておき、必要なときにでさらに高真空を得るという使い方をする。電子顕微鏡では現在あまり使われていない。

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