ピラニ真空計

デジタル大辞泉

ピラニ‐しんくうけい【ピラニ真空計】

読み方：ぴらにしんくうけい

代表的な真空計の一。真空に近い低圧力の下では、気体の熱伝導率が圧力に比例する性質を利用する。通電加熱した金属フィラメントの温度変化を、電気抵抗の変化や熱電対により測定し、気体の圧力を求める。測定範囲は1000分の1〜100パスカル程度。ピラニゲージ。

大車林

ピラニ真空計

英語 pirani gauge

空気の希薄度を測定する計器で、容器内の空間の真空度を測定することに用いられている。その原理は圧力に比例して気体の熱伝導度が変化することを利用している。加熱されている金属の細線の温度は気体の圧力に反比例するので、この温度変化に伴う電気抵抗の変化をホイーストンブリッジ回路で測定し、間接的に真空度を計る。真空熱処理炉の真空度測定などに利用されている。

※「大車林」の内容は、発行日である2004年時点の情報となっております。

走査電子顕微鏡基本用語集

ピラニ真空計（ピラニゲージ）　Pirani gauge

真空中で通電加熱された金属線からの放熱量が圧力によって変わり、電気抵抗が変わる現象を利用した真空計。測定可能圧力範囲は大気圧〜10^-1Paで、SEMで真空排気系の制御に使われる。

関連する用語

• 真空排気系

透過電子顕微鏡基本用語集

ピラニ真空計

【英】：Pirani (vacuum) gauge

加熱されている素子の電気抵抗が温度によって変化することを利用した熱伝導真空計。この真空計では管球の内部にタングステンなどの金属線が張られ、電流で加熱される。真空度によって熱伝導度が変化し、金属線の温度が変わる。測定範囲は0.1〜10³Pa。電顕ではロータリーポンプ（RP)から油拡散ポンプ（DP)引きへ切り替える圧力の検出に使用される。

関連する用語

• ペニング真空計

ウィキペディア

ピラニ真空計

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2014/02/27 07:18 UTC 版)

ピラニ真空計（—しんくうけい）は電気抵抗型の真空計である。

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ピラニ真空計

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「圧力測定」の記事における「ピラニ真空計」の解説

ピラニ真空計 (ピラニー真空計とも言う)もまた、圧力を測定する空間に金属線をさらすタイプである。ピラニ真空計で使う金属線は1本である。金属線に電流を流すとジュール熱が発生して温度が上がるが、一方で金属線は周囲の流体に冷やされる。流体の圧力が低いと、冷却が遅くなるから、金属線の平衡温度 (安定した温度)は高くなる。そして、金属線の電気抵抗は温度で一意的に決まる値なので、金属線に掛けられた電圧と流れる電流を測定すれば、電気抵抗を、ひいては周囲の圧力を求めることが出来る。 同じ原理で熱電対ゲージ、あるいはサーミスタゲージというものもあり、それぞれ熱電対、サーミスタを利用して温度を測定する。 測定可能範囲は10−3 - 10 torr (およそ10−1 - 1000 Pa)である。