ペニング真空計とは?

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ペニング真空計

英語 Penning gauge

真空中での放電現象利用し、中~高真空領域での圧力測定する真空計最初に開発したメーカーの名前をとり、フィリップス(Philips)真空計と呼ぶこともある。ぺニング真空計は、ぺニング放電という現象利用している。一般に冷陰極から放出される電子熱陰極比べ少なく、単に陽極陰極間に電圧印加するだけでは、0.1~1Pa程度までしか放電持続することができないが、ペニング放電では外部から磁場印加し、電子飛距離長くすることによって低い圧力0.1MPaでも放電持続させることができる。それほど精度は必要としないが、測定子を頻繁に交換したくないよう高真空領域測定に適しており、熱処理用の真空炉真空蒸着装置などに使われる。

ペニング真空計

※「大車林」の内容は、発行日である2004年時点の情報となっております。

ペニング真空計(ペニングゲージ) Penning gauge

真空中での放電現象利用した電離真空計永久磁石による強磁界中での放電現象(ペニング放電)を利用しているため、ある程度高真空でも使うことが可能である。測定可能圧力範囲10-3〜1Paである。

関連する用語

ペニング真空計

【英】:Penning (vacuum) gauge

冷陰極電離真空計一種一対の平行平電極間に環状電極(陽極)を置き、それらの軸に平行に磁界をかけ、電子飛程長くすることで低い圧力でも持続的放電を起こさせ、中〜高真空領域での圧力測定する真空計測定範囲は1〜10-4Pa放電電流圧力比例する。堅牢使い勝手良いことから、電顕では油拡散ポンプDP)からスパッタイオンポンプSIP)引きへ切り替える制御用に使われている。

関連する用語

説明に「ペニング真空計」が含まれている用語


圧力測定

(ペニング真空計 から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2017/07/25 14:47 UTC 版)

この記事では、圧力真空度の測定のため開発された、圧力計や真空計を始めとする、圧力測定(あつりょくそくてい、英語: pressure measurement)の技術について解説する。


  1. ^ T.A.Delchar 1995, p. 114.
  2. ^ 2010 CODATA standard atmosphere
  3. ^ Rules and Style Conventions for Expressing Values of Quantities
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  5. ^ Techniques of high vacuum[リンク切れ]
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  11. ^ 神戸大学電子相関物理学講座 物理実験学Ⅰ 配布プリント3[リンク切れ]
  12. ^ 音響情報処理の基礎知識


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