nano electro mechanical systemsとは？わかりやすく解説

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ネムス【NEMS】

読み方：ねむす

《nano electro mechanical systems》ナノメートル程度という分子レベルの微細加工技術を応用した、MEMS(メムス)よりさらに小型化した機械システム。→ナノマシン →ナノマシニング

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NEMS

(nano electro mechanical systems から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/09/21 08:26 UTC 版)

NEMS（ネムスと読む。Nano Electro Mechanical Systems）は、主に半導体集積回路作製技術を用いて作製されたnmオーダーの機械構造を持つデバイスのことである。電子集積回路との集積化も可能である。加工技術の微細化により、MEMSよりも小さな機械構造を作製できるようになり、NEMSの実現が可能となった。

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