l vsem

走査電子顕微鏡基本用語集

LVSEM　low voltage scanning electron microscopy

低加速電圧観察法の略語。試料の表面層だけを観察するために、数kV以下の加速電圧を使う観察法。

関連する用語

• 加速電圧
• 低加速電圧観察

低加速電圧観察　LVSEM: low-voltage observation,low-voltage scanning electron microscopy

数kVより低い加速電圧を使った観察。熱電子銃SEMでは5kV程度まで低加速電圧として扱うが、FESEMでは1〜2kV以下を意味することが多い。目的は、表面観察、非導電性試料の観察、試料損傷の低減などである。

関連する用語

• FESEM
• 加速電圧
• 試料損傷
• 超低加速電圧観察
• 高加速電圧観察

低真空SEM　LVSEM: low-vacuum SEM,Natural SEM,Wet SEM

試料室の圧力を数十〜数百Paまで上げられるようにしたSEM。残留ガス分子と電子の衝突によって出来るプラスイオンを利用して帯電を中和し、非導電性試料を無コーティング観察することができる。このほか、ガス放出が非常に多い試料の観察、含水試料の簡易凍結観察などにも用いられる。電子光学系と試料室の間にはオリフィスを置いて、差動排気を行うほか、通常の二次電子検出器だと放電を起こす可能性があるので、反射電子検出器やガス増幅を用いた特殊な二次電子検出器（ESD）を用いる。Natural SEM、Wet SEMといった商品名で呼ばれることもある。

関連する用語

• 無コーティング観察
• 電子光学系
• オリフィス
• 差動排気
• 二次電子検出器
• 反射電子検出器
• ガス増幅
• ESD