原子番号効果
略語：Z効果
【英】：atomic-number effect
特性X線の分光分析において、入射電子線が後方散乱されてX線励起に寄与しない電子の割合が試料の平均原子番号に依存するために、試料から発生するX線が原子番号に依存する効果。試料を構成する複数の元素の原子番号が大きく違うときにこの効果が無視できなくなる。試料が厚くなると(測定元素により違いがあるが、ほぼ数10nm以上)、定量測定の際、この効果が無視できなくなるので、検出したX線の強度を補正する必要がある。
【英】：atomic-number effect
特性X線の分光分析において、入射電子線が後方散乱されてX線励起に寄与しない電子の割合が試料の平均原子番号に依存するために、試料から発生するX線が原子番号に依存する効果。試料を構成する複数の元素の原子番号が大きく違うときにこの効果が無視できなくなる。試料が厚くなると(測定元素により違いがあるが、ほぼ数10nm以上)、定量測定の際、この効果が無視できなくなるので、検出したX線の強度を補正する必要がある。
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