LEXTシリーズ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/14 08:04 UTC 版)
2003年に市場投入された工業用レーザ顕微鏡シリーズ。 LEXT OLS3100（2007年1月発売） - 408nm半導体レーザーの使用により、高分解能で微小領域の表面形状観察・計測が可能。誰にでも理想的な3次元画像が取得可能なオートマティック操作を実現している。主な計測項目は平面計測、段差計測、非接触表面粗さ解析、膜厚計測。 LEXT OLS3500 - OLS3100とSPMが一体になったタイプ。ミリからナノまで1台で観察や計測が可能。 LEXT OLS3000-IR - 波長の長い赤外レーザーを使い、シリコンを透過し裏側が観察・計測できる特殊なレーザー顕微鏡。
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