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アッシャー

【英】asher

アッシャーとは、半導体の基板の製造工程などにおいて用いられる、アッシング（レジスト剥離）を行う装置のこと。

アッシングはフォトリソグラフィの過程で生じる不要なフォトレジストを除去することである。アッシングの主な方式としては、紫外線などを照射し光励起の作用を利用する方式と、高周波などによるプラズマ化の作用を利用する方式がある。それぞれ「プラズマアッシャー」のように呼び分けられることもある。

外国人名読み方字典

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Asher

名前アシェル；アシャー；アッシャー

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アシェル

(Asher から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/08/10 15:43 UTC 版)

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^ 『創世記』 49章20節

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