Alpha 21066A
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Alpha 21066A（コード名 LCA45）は、21064Aの低価格版である。1994年11月14日に発表され、同日から100MHz版と233MHz版のサンプル出荷を開始した。量産出荷は1995年3月からである。発表時、5,000個注文での単価は175ドル（100MHz版）と360ドル（233MHz）だった。後に266MHz版が追加された。 三菱電機がセカンドソースとなり、M36066A を生産した。1994年11月に100MHz版と233MHz版の生産を発表している。発表時、サンプル出荷は1994年12月、量産サンプル出荷は1995年7月、量産出荷は1995年9月と予定されていた。233MHz版は1,000個注文で単価490ドルとされていた。 21064Aをベースとしているが、一次キャッシュはそれよりも小さい。パワーマネジメント機能を備えており、ソフトウェアから動作周波数を変更できる。 DECは21066を使っていた各種製品で21066Aを採用した。DEC以外では、Tadpole Technology がノートパソコン ALPHAbook 1 に233MHz版を採用した。 総トランジスタ数は180万個で、寸法は 14.8mm × 14.8mm、面積は 161.32 mm2 である。DECの第5世代CMOSプロセスである CMOS-5 で製造され、0.5μmルールで3層配線となっていた。三菱電機の M36066A も 0.5μm ルール、3層配線で製造された。
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