非点収差および像面湾曲収差とは? わかりやすく解説

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非点収差(軸外)および像面湾曲収差

【英】:off-axial astigmatism and curvature of image field

光軸から一定の距離だけ離れた物面の円周上の点から出射した電子線レンズ通ったあと、像面で真円にならず、楕円になってしまう収差を軸外非点収差といい、光軸から離れるにつれて像面がガウス平面からずれて曲面になる収差像面湾曲収差という。軸外非点収差は、レンズへの入射ビームレンズ光軸作る面(タンジェンシャル平面)内とそれに垂直な面(サジッタル平面光軸含まない))内ではビーム対すレンズ作用異なる(レンズ曲率半径が変わる)ために起こる。非点収差無視できる場合等方的な像面の湾曲が残る。

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