非点収差(軸外)および像面湾曲収差
光軸から一定の距離だけ離れた物面の円周上の点から出射した電子線がレンズを通ったあと、像面で真円にならず、楕円になってしまう収差を軸外非点収差といい、光軸から離れるにつれて像面がガウス平面からずれて曲面になる収差を像面湾曲収差という。軸外非点収差は、レンズへの入射ビームとレンズの光軸が作る面(タンジェンシャル平面)内とそれに垂直な面(サジッタル平面(光軸を含まない))内ではビームに対するレンズ作用が異なる(レンズの曲率半径が変わる)ために起こる。非点収差が無視できる場合は等方的な像面の湾曲が残る。
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