非弾性散乱電子

透過電子顕微鏡基本用語集

非弾性散乱電子

【英】：inelastically scattered electron

入射電子が試料を構成する原子に衝突するとき、電子や結晶格子と相互作用をしてそのエネルギーを一部失って（速度が遅くなる）散乱される電子。非弾性散乱が起こる確率は弾性散乱に比べて一桁以上小さいが、試料が厚くなると（〜10nm以上）、の寄与が弾性散乱に重なるために、TEM像や電子回折図形が不明瞭になる。非弾性散乱を取り除くには、エネルギーフィルタを搭載した透過電子顕微鏡が使われる。

関連する用語

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• EELS
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説明に「非弾性散乱電子」が含まれている用語

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