オージェ電子スペクトルとは? わかりやすく解説

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オージェ電子スペクトル

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2020/01/01 03:31 UTC 版)

オージェ電子分光」の記事における「オージェ電子スペクトル」の解説

電子線照射によるAESピークは、非弾性散乱電子二次電子などのバックグラウンドがあるため形状が複雑で幅も広い。そこでピーク解析ではスペクトル微分処理することでピーク位置分かりやすくなる。 定量にはXPS同様に相対感度係数用いる。

※この「オージェ電子スペクトル」の解説は、「オージェ電子分光」の解説の一部です。
「オージェ電子スペクトル」を含む「オージェ電子分光」の記事については、「オージェ電子分光」の概要を参照ください。

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