走査型電子顕微鏡

スラグ用語集

走査型電子顕微鏡

読み方：そうさせんでんしけんびきょう
【英】：SEM,scanning electron microscope

電子波の波長の短いことを利用した電子線の電子光学的結像によって、光学顕微鏡では不可能な試料の高倍率、高分解能の像をうる電子顕微鏡の一種である。試料上を電子線探針で走査し、試料からの透過あるいは反射電子の強弱を探針と同期して走査している観察上ブラウン管の像面上で見る。分解能は探針の大きさで決まり、10nm程度までできる。