膜型表面応力センサーとは? わかりやすく解説

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膜型表面応力センサー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2020/04/11 07:37 UTC 版)

臭気センサ」の記事における「膜型表面応力センサー」の解説

これまで様々な物理学的、化学的アプローチ試みられてきたが、近年新し方式提案された。膜型表面応力センサー(Membrane-type Surface stress Sensor: MSS)と呼ばれる形式同時に複数臭気成分検知可能で従来数十倍もの超高感度感知でき、微細加工技術によって超小型化が可能で臭気成分応じた受容体使用する事により汎用性併せ持つ従来MEMS一種原子間力顕微鏡にも使用されるカンチレバー使用して受容体検体分子吸着した時の機械的な歪み生じカンチレバーのたわみをレーザー光反射検出していたが、電気的な手法実現した

※この「膜型表面応力センサー」の解説は、「臭気センサ」の解説の一部です。
「膜型表面応力センサー」を含む「臭気センサ」の記事については、「臭気センサ」の概要を参照ください。

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