膜厚・屈折率分布測定エリプソメータME/SEシリーズ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/07/05 14:09 UTC 版)
「フォトニックラティス」の記事における「膜厚・屈折率分布測定エリプソメータME/SEシリーズ」の解説
薄膜の厚み/屈折率を非接触・非破壊測定を高速・高精度・高精細に測定可能。 ME-210、ME-210-T SE-101
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