おんどせいぎょ 温度制御 temperature control
温度制御
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/05/10 06:54 UTC 版)
温度制御は、TICとよばれる表示機能付き温度制御機器にて、圧縮機ベーン及び回転数制御が行われる。
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温度制御
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/10/04 06:38 UTC 版)
「ラピッドサーマルプロセス」の記事における「温度制御」の解説
ラピッドサーマルプロセスにおける重要な課題は、ウェハー温度の正確な測定と制御である。熱電対による雰囲気のモニタリングは最近になってようやく実現可能になった。高温のランプ速度はウェハーがプロセスチャンバーと熱平衡になるのを防ぐためである。温度制御の一つの戦略には、リアルタイムで制御をするためのin situパイロメトリーがある。溶接プロセスでの鉄の溶融で用いられている。
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