出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)
水冷などにより、動作中に熱の発生する電子レンズやステージ、ガラスマスクやウエハー、増幅器の定温温度制御を行う。
※この「温度制御機構」の解説は、「電子線描画装置」の解説の一部です。
「温度制御機構」を含む「電子線描画装置」の記事については、「電子線描画装置」の概要を参照ください。
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