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DLTS

(深い準位過渡分光 から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/06/27 17:51 UTC 版)

DLTS(Deep Level Transient Spectroscopy)は、半導体における深い準位(トラップとも呼ぶ)を測定する方法。容量の過渡応答を利用して禁制帯中のエネルギーと捕獲断面積が分かる。ICTS(Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy)も同じ原理を利用した測定方法である。



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