半導体の圧抵抗効果
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2018/07/19 05:21 UTC 版)
半導体の圧抵抗効果は幾何効果よりも数桁大きくなることがあり、ゲルマニウムや多結晶シリコン、アモルファスシリコン、シリコンカーバイド、単結晶シリコンなどのような物質に見られる。これによって非常に高い感度の半導体歪ゲージが作れる。精密な測定では金属歪ゲージと比較して、半導体歪ゲージは一般に環境条件(特に温度)に敏感なため、扱うのが難しい。 シリコンでは、ゲージファクターは大多数の金属と比較して2桁大きい。
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