到達真空度

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到達真空度

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/08/18 02:27 UTC 版)

「イオンポンプ」の記事における「到達真空度」の解説

到達真空度は 10−8 Pa (10−11 Torr) 程度である。気体が無くなってくるとアノード-カソード間の電気抵抗が上昇するため、真空度の向上を確認できる。