マイクロマシン
【英】Micro machine
マイクロマシンとは、構成部品のサイズが数ミリメートル以下であるような微小なシステムのこと、あるいは、それらから構成される機能要素のことである。
マイクロマシンの特徴としては、省資源であること、省スペースであること、省エネルギーであること、などが挙げられる。スケールとしてはミリメートル単位からナノメートル単位までがマイクロマシンに含まれる。そのため、特にナノマシンと呼ばれる分子機械などもマイクロマシンと形容される場合がある。マイクロマシンを実現するための研究開発は、そのアプローチ手法によって、半導体プロセスを用いた微小電気機械システム（MEMS）、または現在の機械技術の微小化、に大別される。
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