出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/11/27 04:09 UTC 版)
微細な刃に超音波を印加し、材料の切削を行い構造を作製する。微細な刃を用いることでμmオーダーからnmオーダーの精度で加工ができる。
※この「超音波加工」の解説は、「マイクロマシン」の解説の一部です。
「超音波加工」を含む「マイクロマシン」の記事については、「マイクロマシン」の概要を参照ください。
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