バッチプロセス
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2018/11/27 04:09 UTC 版)
マイクロマシンにおいて、革命的なことは、半導体集積回路作製技術を用いて、大量に一括してデバイスの作製が可能となったことである。従来の機械部品のような組み立て工程を必要としない。このように作製されたデバイスはMEMSに含まれると思われる。
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