ウィーンフィルタ
【英】:Wien filter
インコラム型のエネルギーフィルタで、オメガフィルタやアルファフィルタが磁界のみを用いるフィルタであるのに対し、は直交する磁界と電界を用いる。主にモノクロメータとして使われ透過電子顕微鏡の照射系に組み込まれる。高電圧の200kVの電子線に対するエネルギー分散能は小さいので、電子線の加速前あるいは電子線を数100Vに減速してフィルタに導入する。この場合のエネルギー分散能は〜10μm/eVである。また電極間の放電等の問題からフィルタに高い電圧をかけるのに限界がある。そのために、このフィルタは〜10keV以下の入射電子線に使われる。フィルタ内の軌道が光軸に平行で直線的なのが特徴であり、利点である。
インコラム型のエネルギーフィルタで、オメガフィルタやアルファフィルタが磁界のみを用いるフィルタであるのに対し、は直交する磁界と電界を用いる。主にモノクロメータとして使われ透過電子顕微鏡の照射系に組み込まれる。高電圧の200kVの電子線に対するエネルギー分散能は小さいので、電子線の加速前あるいは電子線を数100Vに減速してフィルタに導入する。この場合のエネルギー分散能は〜10μm/eVである。また電極間の放電等の問題からフィルタに高い電圧をかけるのに限界がある。そのために、このフィルタは〜10keV以下の入射電子線に使われる。フィルタ内の軌道が光軸に平行で直線的なのが特徴であり、利点である。
- イマージョンレンズ
- ウィーンフィルタ
- スティグマティックフォーカス
- 回転対称レンズ
- 電子線プリズム
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