超高圧電子顕微鏡
略語：UHV-EM
【英】：ultra-high voltage electron microscope
1000kV以上の高加速電圧の電子顕微鏡。1000kVの電子は波長が0.00087nmにまで短くなる。波長が短いことを利用した高分解能化が図られ0.1nm程度の分解能が得られている。その結果、炭素などの軽元素が明瞭に見られている。ただ、最近の高分解能化は球面収差補正装置を搭載した300kV電顕によって行われている。の特徴は、試料に対する透過能が高いので厚い試料の観察ができること、電子線照射による損傷の研究ができること、試料室が大きいので試料環境を制御する研究が容易であることなどである。
【英】：ultra-high voltage electron microscope
1000kV以上の高加速電圧の電子顕微鏡。1000kVの電子は波長が0.00087nmにまで短くなる。波長が短いことを利用した高分解能化が図られ0.1nm程度の分解能が得られている。その結果、炭素などの軽元素が明瞭に見られている。ただ、最近の高分解能化は球面収差補正装置を搭載した300kV電顕によって行われている。の特徴は、試料に対する透過能が高いので厚い試料の観察ができること、電子線照射による損傷の研究ができること、試料室が大きいので試料環境を制御する研究が容易であることなどである。
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