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走査電子顕微鏡基本用語集

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X線マイクロアナライザ　X-ray microanalyzer,electron probe microanalyzer

電子プローブマイクロアナライザと同義語。最近では使われることが少なくなった用語である。

電子プローブマイクロアナライザ（電子線マイクロアナライザ）　EPMA: electron probe microanalyzer

電子を照射したとき試料から放出される特性X線の波長を分光して、照射領域に存在する元素の同定および濃度の分析を行う装置。分析領域は横方向、深さ方向とも数百 nm〜数µmである。分析機能を重視することから、数基のWDSと、分光条件に合わせるための光学顕微鏡を備えている。電子プローブの走査機能を持っているのでSEM像の取得のほか元素マッピングなどを行うことができるが、SEMと違って試料ステージには傾斜機構、回転機構が無いのが普通である。なお、EDSを取り付けた SEMをEPMAと呼ぶ場合がある。

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