試料汚染

走査電子顕微鏡基本用語集

試料汚染（コンタミネーション）　specimen contamination,contamination

観察中に電子線照射によって試料表面に汚れが付着する現象。高倍率で観察した後倍率を下げると、高倍率での観察領域に対応した黒い（場合によっては白い）長方形の跡が付くが、スポットモードにすると照射点には白い円形の跡が付く。試料室中の炭化水素系の残留ガス分子が電子線照射によって解離し、試料表面にカーボンの堆積物ができると考えられている。試料が“焼ける”と言われるのは試料汚染の場合が多い。なお、試料そのものが汚れていて汚染源となる場合もある。
下図左はスポットモードでの試料汚染堆積物の生成のメカニズム、下図右は試料汚染によって中央部が黒くなった様子を示す。

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