WDX

走査電子顕微鏡基本用語集

波長分散X線分光法　WDS,WDX: wavelength-dispersive X-ray spectrometry

波長分散形X線分光器を用いた分析法。EDSに比べて、エネルギー分解能が高い、検出感度が高い、などの特長を持つが、複数元素の同時分析ができない、大きなプローブ電流が必要である、などの弱点もある。

関連する用語

• EDS
• エネルギー分解能
• 検出感度
• プローブ電流

波長分散形X線分光器　WDS,WDX: wavelength-dispersive X-ray spectrometer

結晶によるX線の回折現象を利用して波長スペクトルを得る分光器。EDSに比べて、エネルギー分解能が高い、検出感度が高い、などの特長を持つが、複数元素の同時分析ができない、大きなプローブ電流が必要である、などの弱点もある。
下図は、分光器の原理を示す模式図である。試料上のX線の発生源（分析点）、分光結晶、検出器はローランド円と呼ばれる一定の半径の円上を移動し、分光結晶は一定の取り出し角を保ったまま直線上を移動する。分光結晶で回折を起こしたX線は検出器に入射するが、分光結晶の移動に伴ってブラッグ角が変化するので検出されるX線の波長が変化する。

関連する用語

• EDS
• エネルギー分解能
• 検出感度
• プローブ電流
• 縦形分光器
• 横形分光器
• 分光結晶
• ローランド円