焦点深度 depth of focus
- 試料上のある点に焦点を合わせたとき、奥行きのある試料だと焦点が外れる点ができるが、焦点がずれていてもボケを感じない範囲を焦点深度と言う。電子プローブの開き角が小さいほど焦点深度は深くなり、観察倍率が高くなるほど焦点深度は浅くなる。SEMは光学顕微鏡に比べると一般に数十倍焦点深度は深い。
下図は、対物レンズ絞りの径を変えたときの焦点深度の違いを示すものである。絞りの径が小さいとレンズの開き角αが小さく、一定のボケδを生じるための焦点はずれ量が大きく（焦点深度が深く）なる。対物レンズ絞りの径だけでなく、作動距離も焦点深度に大きな影響を与える。なお、焦点深度DOFは、倍率をMとすると、中低倍率ではDOF=δ/4αMで表される。
関連する用語
焦点深度と同じ種類の言葉
このページでは「走査電子顕微鏡基本用語集」から焦点深度を検索した結果を表示しています。
Weblioに収録されているすべての辞書から焦点深度を検索する場合は、下記のリンクをクリックしてください。
全ての辞書から焦点深度
を検索
Weblioに収録されているすべての辞書から焦点深度を検索する場合は、下記のリンクをクリックしてください。
全ての辞書から焦点深度
を検索
- 焦点深度のページへのリンク
