渦電流型変位計
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/03/02 05:37 UTC 版)
コイルから発生する磁界により被測定対象物に誘起される渦電流によって、コイルのインピーダンスが、コイルと被測定対象物間の距離で変化することを利用した変位計。 以下の長所・短所がある。 測定ギャップの水や油に影響を受けない 測定対象物は鉄または金属で、強磁性体である鉄に対しての感度が高い。 高速応答(応答周波数は数100kHz) 測定レンジによってはサブミクロンの分解能が得られる 測定対象物と測定プローブの距離(作動距離)は数mm 測定対象物の導電率によって感度が変化する
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