清浄度の確保
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/08/17 01:52 UTC 版)
クリーンベンチは、主として無菌の空気を送り付けることで無菌的環境を提供するとともに、外部からの汚染を防ぐ役割を持つ。この空気を供給するのがHEPAフィルター（High efficiency particulate airfilter）で、0.3マイクロメートルの粒子を99.97パーセント以上という集塵率で濾過する能力がある。前段階のフィルターを通った空気がこれを通ることで高度に無菌な風が得られる。 空気の清浄度についてはアメリカ合衆国の規格に基づき、クラス100（1立方フィート当たり0.5マイクロメートル以上の粒子数が100未満）を標準にしている。フィルターには定期的な取り替えが必要で、普通の部屋では3年から4年は使用可能とのこと。無菌室内の場合、半永久的に使える。
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