流体フィードスルー

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流体フィードスルー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2010/03/26 00:23 UTC 版)

「真空フィードスルー」の記事における「流体フィードスルー」の解説

サンプルセル等に常温で用いられるガスや液体を輸送するには溶接やOリングによるシールによって管を接続する。コールドトラップやセルの冷却に液体窒素などの冷媒を輸送するような場合は二重管などにより接続された真空壁との間を断熱する機構が必要となる。