油拡散ポンプとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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油拡散ポンプ（拡散ポンプ）　DP: oil diffusion pump,diffusion pump

金属円筒内に置かれたノズルから油蒸気を噴き出させ、そのエネルギーで気体分子を圧縮排気するポンプ。油を高温の蒸気にするためのヒーターと、金属円筒を冷却するための水が必要である。動作圧力範囲は10^-5〜10^-1Pa 程度であり、排気口側に油回転ポンプが繋がれている。

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