標準レシピ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/11 05:23 UTC 版)
ウェハーは脱イオン水に浸しておく。ウェハーが極めて汚染されている場合、事前にピラニア溶液で洗浄する。ウェハーは各段階の間に脱イオン水で十分にリンスする。 理想的には、以下のステップは石英ガラス容器で調整された溶液にウェハーを浸して行われる（ホウケイ酸ガラスは不純物が溶け出し汚染するため使用してはならない）。同様に薬品中の不純物がウェハー汚染につながるため、電子工業グレード（またはCMOSグレード）を用いることが推奨される。
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