想定外の解像度限界
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/08/07 07:00 UTC 版)
「極端紫外線リソグラフィ」の記事における「想定外の解像度限界」の解説
現在のリソグラフィ光波長と比較して、EUVが波長を著しく縮小するのなら、それが著しくよりよい解決になると期待するだろう。しかし、解像度は結局、像の記録媒質(つまりフォトレジスト)中の相互作用量によって決定づけられる。上に言及されたように、EUVによって放出された低エネルギー電子はオリジナルのEUVイメージを不鮮明にするかもしれない。さらに、とりわけ1,500平方ナノメーター未満の特定エリアにおいては、統計的な効果がある。
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