回折限界

透過電子顕微鏡基本用語集

回折限界

【英】：diffraction limit

光学系に収差が無い場合の集光限界。電子波には回折現象があるので、収差がない光学系においても、物体の一点から出射した電子波は像面で無限小の一点には集まらず、有限の大きさ(エアリーディスク)までにしか集光できない。エアリーディスクの大きさは電子線の開き角に依存し、開き角を大きくとるとエアリーディスクは小さくなるが、透過型電子顕微鏡で実現できる開き角は<10^-2radである。この集光限界のために理想レンズでも点分解能は無限に小さくはならない。