半導体製造装置製造業
| 分類 | 日本標準産業分類(平成19年[2007年]11月改定) > 製造業 > 生産用機械器具製造業 > 半導体・フラットパネルディスプレイ製造装置製造業 > 半導体製造装置製造業 |
| 説明 | 主として半導体（半導体集積回路，半導体素子）の製造に利用されるマスク・レチクル製造装置，ウェーハプロセス（電子回路形成）装置，半導体チップ組立装置などの各種製造装置を製造する事業所をいう。 主として設計用装置を製造する事業所は中分類30［3031］に，検査用装置（電気計測器）を製造する事業所は中分類29［2971］に，純水製造装置を製造する事業所は小分類265［2652］に分類される。 |
| 事例 | ウェーハ加工（スライシング，研削，ラッピング）装置製造業；ウェーハ熱処理（酸化，拡散）装置製造業；ウェーハ露光装置製造業；ウェーハレジスト処理装置製造業；マスク・レチクル製造装置製造業；ウェーハ洗浄・乾燥装置製造業；ウェーハエッチング装置製造業；ウェーハイオン注入装置製造業；ウェーハ薄膜形成装置（ＣＶＤ，スパッタリング，エピタキシャル成長）製造業；ウェーハ真空蒸着装置製造業；ウェーハダイシング装置製造業；チップボンディング装置製造業；チップモールディング装置製造業； |
- 半導体製造装置製造業のページへのリンク
