出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/02/20 07:40 UTC 版)
「誘導結合プラズマ」の記事における「加工技術としての応用」の解説
MEMSや集積回路の製造に用いられる反応性イオンエッチングによる微細加工で使用される。また、数MHzの高周波発振機を用いた誘導熱プラズマは、ナノ粒子の合成や厚膜合成、フロンガスやポリ塩化ビフェニル(PCB)、有害ガスの分解に利用されている。
※この「加工技術としての応用」の解説は、「誘導結合プラズマ」の解説の一部です。
「加工技術としての応用」を含む「誘導結合プラズマ」の記事については、「誘導結合プラズマ」の概要を参照ください。
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