二次電子放出率

走査電子顕微鏡基本用語集

二次電子放出率　secondary yield,secondary electron emission coefficient

試料に入射した電子の数に対する、試料から放出された二次電子の割合。入射電子の電流をI₀、二次電子電流をI_sとすると、二次電子放出率δはδ=I_s/I₀で与えられる。二次電子放出率は、物質、入射電子エネルギー、試料への入射角度によって異なる。広義の二次電子に対する二次電子放出率は、入射電子エネルギーが数百eV〜2000eVで最大となり、多くの物質で1を越えるので、この付近の加速電圧を使うことで、非導電性試料を帯電することなく観察することができる。
下図左に二次電子放出率の原子番号依存性、中央に入射エネルギー依存性、右に入射角依存性を示す。

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