イソブチルゲルマンとは何？わかりやすく解説 Weblio辞書

イソブチルゲルマン

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/03/06 17:11 UTC 版)

イソブチルゲルマン (英: Isobutylgermane: IBGe、化学式: (CH₃)₂CHCH₂GeH₃) は、有機ゲルマニウム化合物である。これはMOVPE (有機金属気相エピタキシー) でゲルマンの代替として使用される無色の揮発性液体である。IBGeはGe膜および歪みシリコン用のSiGe、NANDフラッシュ用途のGeSbTeなどのGe含有半導体薄膜の堆積に使用される。

^ Safer alternative liquid germanium precursors for relaxed graded SiGe layers and strained silicon by MOVPE^{[リンク切れ]}; D.V. Shenai et al., Presentation at ICMOVPE-XIII, Miyazaki, Japan, June 1, 2006, and publication in Journal of Crystal Growth (2007)
^ Woelk, Egbert; Shenai-Khatkhate, Deodatta V.; Dicarlo, Ronald L.; Amamchyan, Artashes; Power, Michael B.; Lamare, Bruno; Beaudoin, Grégoire; Sagnes, Isabelle (2006). “Designing novel organogermanium OMVPE precursors for high-purity germanium films”. Journal of Crystal Growth 287 (2): 684–687. Bibcode: 2006JCrGr.287..684W. doi:10.1016/j.jcrysgro.2005.10.094.
^ Shenai-Khatkhate et al., Rohm and Haas Electronic Materials; Presentation at ACCGE-16, Montana, USA, July 11, 2005, and publication in Journal of Crystal Growth (2006)
^ MOVPE growth of homoepitaxial germanium, M. Bosi et al. publication in Journal of Crystal Growth (2008)
^ Homo and Hetero Epitaxy of Germanium Using Isobutylgermane, G. Attolini et al. publication in Thin Solid Films (2008)
^ Growth of germanium nanowires with isobuthyl germane, M. Bosi et al. publication in Nanotechnology (2019)

「イソブチルゲルマン」の続きの解説一覧


	All Rights Reserved, Copyright © Japan Science and Technology Agency
	All text is available under the terms of the GNU Free Documentation License. この記事は、ウィキペディアのイソブチルゲルマン (改訂履歴)の記事を複製、再配布したものにあたり、GNU Free Documentation Licenseというライセンスの下で提供されています。 Weblio辞書に掲載されているウィキペディアの記事も、全てGNU Free Documentation Licenseの元に提供されております。