ゲルマニウムヒドリド
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/09/27 14:42 UTC 版)
「有機ゲルマニウム化合物」の記事における「ゲルマニウムヒドリド」の解説
有機ゲルマニウムヒドリドの一種、イソブチルゲルマン (IBGe) (Me2CHCH2)GeH3 （Meはメチル基を示す）は、有機金属気相成長法 (MOVPE) における蒸気圧の高い液体状のゲルマニウム源である。水素化ゲルマニウムよりも安全な代替物としてマイクロエレクトロニクスの分野で研究が進められている。 トリス（トリメチルシリル）ゲルマニウムヒドリド (Me3Si)3GeH は水素化トリブチルスズなどのスズヒドリド類に代わる無毒な化合物として研究されている。
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