micromechatronics

デジタル大辞泉

マイクロメカトロニクス【micromechatronics】

読み方：まいくろめかとろにくす

半導体製造に用いられる微細加工技術を応用し、マイクロマシンなどの超小型の機械システムをつくる技術の総称。

IT用語辞典バイナリ

マイクロメカトロニクス

【英】Micromechatronics

マイクロメカトロニクスとは、マイクロマシンやナノテクノロジーを応用して、従来の機械とはスケールや構造、製作原理まで全く異なった新しい微細技術を実現する技術の総称である。

半導体製造技術が進歩したことによって、メカトロニクスのスケールがさらに一層微小なものになることが要求されている。通常のメカトロニクス環境と微小な世界の環境では、物理的環境が大きく異なるので、それまでは無視しても差し支えのなかった摩擦や粘性の問題、あるいは装置内での発熱処理などが、大きな課題となっている。

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