試料汚染防止装置

走査電子顕微鏡基本用語集

試料汚染防止装置（液体窒素トラップ,コールドトラップ,冷却トラップ）　anti-contamination device,liquid-nitrogen trap,cold trap

観察や分析時の試料汚染を減少させるための装置。試料近傍に置かれた金属板を液体窒素で冷却すると、周囲にある炭化水素系ガス分子を吸着し、試料汚染を減少させることができる。金属板は、なるべく試料を包み込むような構造が望ましいが、SEMの場合、比較的大きな試料を自由に扱うことを優先させるため、平板状の構造となってしまい、効果が若干低下する。デュワーの液体窒素が蒸発し、金属板の温度が上がると試料汚染が急激に増加するので、一定の時間間隔で液体窒素を補給することが重要である。

関連する用語

• 試料汚染
• 液体窒素バッフル