Photoresist

デジタル大辞泉

フォトレジスト【photoresist】

読み方：ふぉとれじすと

光・紫外線などを光源とするレジスト。IC回路・LSI回路・プリント配線などの作製に用いられる。光レジスト。

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フォトレジスト

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/10/28 17:52 UTC 版)

フォトレジスト（英語：photoresist）とは、フォトリソグラフィにおいて使用される、光や電子線等によって溶解性などの物性が変化する組成物である。物質の表面に塗布され、後に続くエッチングなどの処理から物質表面を保護することから、「レジスト」 (resist) の名がある。しかしながら、現在では、感光性を有し、画像様露光・現像によりパターニングを行って表面に画像層を形成することができる物質であればフォトレジストと呼ばれ、必ずしも保護の働きがあるとは限らない。