CVD法
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/05 07:59 UTC 版)
「カーボンナノチューブ」の記事における「CVD法」の解説
触媒金属のナノ粒子とメタン (CH4) やアセチレン (C2H2) などの炭化水素を500～1,000℃で熱分解してCNTを得る。大規模生産向けの手法。
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