電離真空計と質量分析法の併用
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/11/01 08:39 UTC 版)
「圧力測定」の記事における「電離真空計と質量分析法の併用」の解説
前の説明を参照のこと。間接法ではあるが、質量分析法で気体の組成を分析することで、正確な圧力を計算できる。
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