金属とセラミックス封じ材
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2018/10/05 08:40 UTC 版)
「真空用材料」の記事における「金属とセラミックス封じ材」の解説
金属とセラミックスの封着はセラミックスがガラスに比べて常温から高温にいたるまで強さが大きい点、また接着寸法精度の高い点を利用して用いられる。付着の方法は、セラミック表面にメタライズ処理を行った後、金属とろう付けする。現在最も安定した方法として用いられるメタライズ処理は、Mo、Mo-Mn微粉末ペーストを用いた高融点金属法とTi、Zrと共晶組成となるNi、Cuなどを用いた活性化金属法である。
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