安全性と毒性の側面
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/01/03 11:40 UTC 版)
「ヒ化アルミニウムガリウム」の記事における「安全性と毒性の側面」の解説
AlGaAsの毒物学は完全には調査されていない。粉塵は皮膚、目、肺に刺激を与える。アルミニウムガリウムヒ素源(トリメチルガリウムやアルシンなど)の環境、健康、安全面、および標準的なMOVPE源の産業衛生モニタリング研究がレビューで報告されている。
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