大角度収束電子回折法
【英】:large-angle convergent-beam electron diffraction
通常の収束電子回折法では隣接する回折波のために回折ディスクの半径はブラッグ角を越えることができない。を用いると、角度に関するこの制限を越えて大きな角度の収束電子回折図形が得られる。COレンズを使って、入射ビームの焦点に試料を置くと像面(制限視野絞り)上に明視野像と暗視野像の重なった像ができる。試料位置をビームの焦点からはずして上方または下方にずらすと制限視野絞り上の明視野像と暗視野像は分離する。制限視野絞りで、たとえば明視野像のみを選んで、回折図形を得るモードに中間レンズの条件を設定すると、通常の収束電子回折図形の角度の3〜4倍にわたる明視野の回折図形が得られる。大角度収束電子回折図形には像と回折の両方の情報が入っており、格子欠陥の同定や界面の歪解析に有効に使われる。
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